Tantalum nitride thin film resistors by low temperature reactive sputtering for plastic electronics
- Autori: Scandurra, A; Indelli GF; Pignataro,B; Di Marco S; Di Stefano,MA; Ravesi,S; Pignataro, S
- Anno di pubblicazione: 2008
- Tipologia: Articolo in rivista (Articolo in rivista)
- Parole Chiave: plastic electronics, tantalum nitride, XPS, AFM,SIMS
- OA Link: http://hdl.handle.net/10447/37900