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Elettronica @ UNIPA

Clean Room Classe 100

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All'interno della Clean Room - Classe 100 si svolgono le esercitazioni e le attività didattiche dei seguenti insegnamenti:

  • Microtecnologie
  • Nanoelettronica

 

Strumentazione della clean room:

  • Electron beam thin film deposition system;
  • RF sputtering station;
  • Reactive ion etcher;
  • Ion beam etcher;
  • Dedicated vacuum thermal evaporator with criogenic pump, 5 evaporant sources, 3 crystal thickness monitors for co-evaporation and movable metal shadow mask for molecular organic devices;
  • Glove box;
  • Quadrupole mass spectrometer;
  • Programmable spinner;
  • Oven and hot plate;
  • Microprobe station;
  • Ultra pure water and nitrogen generators.