Clean Room Classe 100
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All'interno della Clean Room - Classe 100 si svolgono le esercitazioni e le attività didattiche dei seguenti insegnamenti:
- Microtecnologie
- Nanoelettronica
Strumentazione della clean room:
- Electron beam thin film deposition system;
- RF sputtering station;
- Reactive ion etcher;
- Ion beam etcher;
- Dedicated vacuum thermal evaporator with criogenic pump, 5 evaporant sources, 3 crystal thickness monitors for co-evaporation and movable metal shadow mask for molecular organic devices;
- Glove box;
- Quadrupole mass spectrometer;
- Programmable spinner;
- Oven and hot plate;
- Microprobe station;
- Ultra pure water and nitrogen generators.