Si informano gli studenti del Corso di Laurea Magistrale in Ingegneria Elettronica e del terzo anno del Corso di Laurea in Ingegneria Elettronica che il Prof. R. Macaluso terrà un ciclo di seminari dal titolo “Microtecnologie”. Il ciclo di seminari si articolerà in tre lezioni di due ore ciascuna, che avranno luogo nei giorni 14, 21 e 28 marzo p.v. dalle 14:00 alle 16:00 in aula U140.

Il ciclo di seminari offre, assieme ad una sintesi delle problematiche legate alle moderne tecniche di fabbricazione di microdispositivi elettronici, conoscenze specifiche sulla tecnologia del silicio, materiale ampiamente utilizzato dall’industria microelettronica.

Saranno affrontati i principali processi tecnologici di base impiegati per la fabbricazione dei circuiti integrati, quali fotolitografia, etching, diffusione, impiantazione ionica, ossidazione, chemical vapour deposition (CVD), sputtering. Infine verranno illustrati i vari passi per la fabbricazione di dispositivi elettronici integrati.

Agli studenti che parteciperanno ai seminari e che presenteranno una relazione al Prof. R. Macaluso verrà riconosciuto 1 CFU, previa valutazione positiva della stessa.